低(di)溫(wen)等(deng)離(li)子體(ti)(ti)凈化法低(di)溫(wen)等(deng)離(li)子體(ti)(ti)是繼固態(tai)、液態(tai)、氣態(tai)以(yi)后的(de)物(wu)質第四(si)態(tai)，當外加(jia)電(dian)壓到達氣體(ti)(ti)的(de)放電(dian)電(dian)壓時，氣體(ti)(ti)被擊(ji)穿，發生包含電(dian)子、各種(zhong)離(li)子、原子和(he)自由基在內的(de)混(hun)合(he)體(ti)(ti)。放電(dian)過程中盡管(guan)電(dian)子溫(wen)度(du)很(hen)高，但重粒子溫(wen)度(du)很(hen)低(di)，全部系統呈(cheng)現低(di)溫(wen)狀況，所以(yi)稱為低(di)...
